Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9353546 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Expedius
ID: 9353546
Wafergröße: 12"
Wet bench, 12" Process: APMA Rec-Clean Load / Unload module: Transfer module: Tank SD2 (Dryer): Guide material: PVDF Process bath material: PTFE Cold DIW: 40-60 l/min POU: Guide material: QUARTZ Process bath material: QUARTZ Temperature: 70°C Mixing Ratio: HCL:H2O 1:240/1:500 Cold DIW: 40-60 l/min Hot DIW: 40-60 l/min Heater CEH-480 Concentration monitor SC1 (M/S): Guide material: QUARTZ Process bath material: PTFE Temperature: 65°C Mixing ratio: NH3OH:H2O2:H2O 1:4:130/1:1:125 Megasonic: SSDM 2800 W Heater YY5611203J Filter HORIBA CS-131-0510 Concentration monitor (2) QDR: Guide material: PCTFE Process bath material: QUARTZ Cold CIW: 40-60 l/min HF/EG: Guide material: PCTFE Process bath material: PTFE Temperature: 65°C Mixing Ratio: HF/EG 1:10: 65°C 1:50: 60°C Cold DIW: 4 NSPH-55KML Pump Chemical heater QCCATX01 Filter, 0.1 µm HORIBA CS-158-F1 Concentration monitor BSG: Guide material: PCTFE Process bath material: PTFE Temperature: 60°C Mixing ratio: HF:H2SO4 1:5/1:30 NSPH-55KML Pump Chemical heater QCCATX01 Filter, 0.1 µm HORIBA CS-133V Concentration monitor 2004-2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Expedius ist eine Nassstation, die eine effiziente und zuverlässige Plattform für die Integration von Waferherstellung, Lithographie und anderen Prozessen bietet. Die Plattform bietet Temperaturstabilität, Prozesssteuerung und verbesserte Ausbeuten. Es ist eine Mehrbenutzerplattform, die mit den neuesten Nassverfahren und Lasertechnologien ausgestattet ist. Es bietet eine umfassende Suite von Funktionen und Innovationen, einschließlich automatisierter Schablonenbeladung, einer hochwertigen Schutzausrüstung und einem verbesserten Luftevakuierungssystem. TEL Expedius Wet Station bietet eine stabile Plattform auf Maschinenebene für Prozessintegration und Leistungsoptimierung. Sein offenes Architekturdesign nutzt eine 8-Achsen-Bewegungseinheit und eine Servoantriebsmaschine, um eine präzise und stabile Bewegungssteuerung zu gewährleisten. Seine proprietären Antriebsmuster und Wiederholungsalgorithmen sind so konzipiert, dass die Station einen stationären Zustand schnell und reibungslos erreichen kann, während Turbulenzen minimiert werden. Es bietet auch ein fortschrittliches Temperaturregelwerkzeug, das eine gleichmäßige, konstante Temperatur auf der nassen Plattform während der Verarbeitung gewährleistet. TOKYO ELECTRON Expedius Wet Station ist mit mehreren Be-/Entlademechanismen ausgestattet, die eine schnelle und einfache Integration mit verschiedenen Prozesswerkzeugen ermöglichen. Die speziell entwickelte Pneumatik-Anlage und die automatische Schablonenladefunktion sorgen für eine schnelle und einfache Einrichtung. Es bietet auch ein fortschrittliches Lasermarkierungsmodell, das eine ausgezeichnete Auflösung und Genauigkeit bei minimalen Stiktionskräften bietet. Die automatisierte Hochschutzausrüstung erleichtert Prozesse wie Schleuderbeschichtung, Ätzen und Backen bei minimalem Benutzereingriff. Darüber hinaus wurde Expedius Wet Station entwickelt, um die Prozesserträge zu maximieren und die Kosten durch einen integrierten Ansatz für die Herstellung von Wafern, Lithographie und andere Prozesse zu senken. Die robuste Berichtsfähigkeit der Station ermöglicht eine umfassende Analyse der Prozessleistung. Sein fortschrittliches Prozessleitsystem sorgt für stabile und wiederholbare Ergebnisse. Darüber hinaus sorgt die fortschrittliche Luftentsorgungseinheit für eine verringerte Partikelverunreinigung in der Luft. Abschließend ist TEL/TOKYO ELECTRON Expedius Wet Station eine umfassende Mehrbenutzerplattform, die eine stabile und zuverlässige Plattform für Prozessintegration und Leistungsoptimierung bietet. Die fortschrittlichen Funktionen und Innovationen der Station sorgen für hervorragende Erträge bei minimalem Benutzereingriff. Seine fortschrittliche Prozesssteuerungsmaschine sorgt für wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse, während sein Luftabfuhrwerkzeug für eine verringerte Partikelverschmutzung sorgt. Insgesamt bietet die Station eine zuverlässige und effiziente Plattform, die Prozesserträge maximiert und Kosten minimiert.
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