Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9353547 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 9353547
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Wet bench, 12"
Process: RECA Rec-clean
Load / Unload module:
Transfer module:
Tank SD2 (Dryer):
Guide material: PVDF
Process bath material: PTFE
Cold DIW: 40-60 l/min
POU:
Guide material: QUARTZ
Process bath material: QUARTZ
Temperature: 70°C
Mixing ratio: HCL:H2O, 1:500 / 1:1000
Proportion 1: HF:H2O, 1:500 / 1:1000
Cold DIW: 40-60 l/min
Hot DIW: 40-60 l/min
Heater
HF-960M Concentration monitor
SC1 (M/S):
Guide material: QUARTZ
Process bath material: PTFE
Temperature: 65°C
Mixing ratio: NH3OH:H2O2:H2O, 2:3:130
Megasonic: SSDM 2800 W
Heater
YY5611203J Filter
HORIBA CS-131-0510 Concentration monitor
(2) QDR:
Guide material: PCTFE
Process bath material: QUARTZ
Cold CIW: 40-60 l/min
HF/EG:
Guide material: PCTFE
Process bath material: PTFE
Temperature: 65°C
Mixing ratio: HF/EG
1:10: 65°C
1:50: 60°C
Cold CIW: 4
NSPH-55KML Pump
Chemical heater
QCCATX01 Filter, 0.1 µm
HORIBA CS-158-F1 Concentration monitor
BSG:
Guide material: PCTFE
Process bath material: PTFE
Temperature: 60°C
Mixing ratio: HF/H2S04, 1:5 / 1:30
NSPH-55KML Pump
Chemical heater
QCCATX01 Filter, 0.1 µm
HORIBA CS-133 V Concentration monitor
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Expedius ist eine hervorragende Nassstationsausrüstung, die von TEL Limited (TOKYO ELECTRON) entwickelt wurde. Es wurde entwickelt, um Technologiekompatibilität, Automatisierung, Flexibilität und Durchsatz für Halbleiterbauelementehersteller zu maximieren. TEL Expedius Nassstationssystem bietet integrierte, vollautomatische Verarbeitungstechniken für die Halbleiterindustrie und ist damit eines der fortschrittlichsten Systeme zum Ätzen, Reinigen und anderen damit zusammenhängenden Prozessen. Der Aufbau der TOKYO ELECTRON Expedius Nassstation umfasst eine Kammer, einen Drehkopf und einen vollautomatischen Roboterarm, die alle in einem langlebigen Gehäuse aus Edelstahl untergebracht sind. Die Kammer verfügt über ultrahohe Temperaturfähigkeit und bietet eine einheitliche Umgebung für Ätzprozesse. Darüber hinaus verfügt die Kammer über eine patentierte zyklonische Konstruktion, die es der Maschine ermöglicht, während der Fertigungsprozesse erzeugte Partikel und Abfälle zu zeichnen, zu sammeln und zu filtern. Der Roboterarm wird über die Touchscreen-Schnittstelle gesteuert und bietet Positionsgenauigkeit, eine gleichmäßige Ätztiefe und eine homogene Umgebung, die konsistente Produkteigenschaften garantiert. Der Roboterarm kann sowohl für Nassätz- als auch für Reinigungsprozesse eingesetzt werden, einschließlich einer Reihe von Ätz-/Band- und Ablagerungs-/Bandoperationen. Expedius Nassstation verfügt auch über eine dynamische Schnittstelle, die mit Produktionskomponenten kommuniziert und die Prozessüberwachung und die Protokollierung von Produktionsdaten erleichtert. Damit lassen sich Prozesse zur Qualitätssicherung und kontinuierlichen Verbesserung verfolgen. Darüber hinaus verfügt die Schnittstelle auch über Anschlüsse zum Verbinden mehrerer TEL/TOKYO ELECTRON Expedius Nassstationen miteinander für erhöhten Durchsatz. Insgesamt ist TEL Expedius Nassstationswerkzeug eine fortschrittliche Lösung für Ätz-, Reinigungs- und andere verwandte Prozesse in der Halbleiterbauelementherstellung. Mit seinen beispiellosen Funktionen wie Hochtemperaturkompatibilität, zyklonischem Kammerdesign, Roboterarm, dynamischer Schnittstelle und erhöhter Durchsatzleistung bietet TOKYO ELECTRON Expedius eine hervorragende Prozessleistung und Effizienz für Gerätehersteller.
Es liegen noch keine Bewertungen vor