Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9353551 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius ist eine Nassstation für die Prozessentwicklung und das Prototyping von Geräten. Das Gerät besteht aus einem Wafer-Scanning-System und einer Einzelwafer-Bearbeitungskammer, die in einem modularen PE II (Prozessgehäuse) -Rahmen in sich enthalten sind. Die Nassstation ist für die Handhabung von bis zu 300 mm Durchmesser (15 cm) Wafern für eine Vielzahl von naßchemischen Prozessen wie Resiststreifen, Oxidätzen, Spin-Rinse-Dry (SRD) -Operationen und anderen wesentlichen Reinigungsvorgängen ausgelegt. Die Scaneinheit, die über eine benutzerfreundliche grafische Anzeige betrieben wird, ermöglicht eine präzise Prozesssteuerung über die Waferoberfläche. Das Gerät ist mit einem integrierten Mikrocontroller zur Steuerung der Belichtungszeit, der Anzahl der Belichtungen und der Gasdurchflussraten sowie anderer Scanparameter ausgestattet. Ein Wirbeltrockner ist als Option für die Trocknung von Wafern nach naßchemischen Operationen ausgestattet. Die Wafer-Bearbeitungskammer umfasst eine hochpräzise, zweiseitige parallele Plattenprozesskammer, die die Prozessleistung und Wiederholbarkeit maximiert. Die Edelstahlkonstruktion der Kammer ist leicht und korrosionsbeständig. Die Kammer kann mit einer integrierten Gasmaschine ausgestattet sein, die während der Verarbeitung Einspritzungen von flüchtigen Verbindungen oder korrosionsbeständigen Materialien ermöglicht. Das Werkzeug ist mit einer Vielzahl von Chemikalien wie Säuren, Basen, Lösungsmitteln und Tensiden kompatibel. Die präzise Auslegung der Prozesskammer ermöglicht gleichmäßige Dosis- und Ätzleistungen - entscheidend für die wiederholbare Gerätebearbeitung. Die Kammer kann einfach für verschiedene Kundenanwendungen mit unterschiedlichen Chemikalien rekonfiguriert werden. Die Anlage verfügt über eingebaute Sicherheitsmerkmale, einschließlich selbsthemmender Behälter, gefährlicher Gasdetektoren, Dual-Gas-Schwellwertmessungen und verschlossener Sicherheitskammertüren, die die Einleitung von Fremdgas in die Betriebsumgebung verhindern. Darüber hinaus ermöglicht dieses Modell eine präzise Kontrolle der Belichtungszeit und Gleichmäßigkeit. Darüber hinaus ist es mit Überwachungssoftware ausgestattet, die die Aufzeichnung, Verfolgung und Analyse von Prozessdaten zur zukünftigen Referenz ermöglicht. TEL Expedius Nassstation ist eine zuverlässige, flexible und zuverlässige Ausrüstung für die Prozessentwicklung und Geräteprototypisierung. Mit seiner intuitiven grafischen Oberfläche und der hochpräzisen zweiseitigen Prozesskammer ist die Nassstation ideal für Anwendungen, die Präzision und Wiederholbarkeit erfordern.