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(2) Coater / (3) Developer system, 8" Automation component: HSMS Inline flow: Right 1996 vintage.
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(3) Coater system, 8" Automation component: HSMS Inline flow: Left 1996 vintage.
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(3) Coater system, 8" Automation component: HSMS Inline flow: Right 1997 vintage.
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TEL / TOKYO ELECTRON
Mark 7
Track system, 6" Left to right for 8" Indexer: (4) cassette stage (uni-cassette) Configuration: Mai
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TEL / TOKYO ELECTRON
Mark 7
Coater / Developer system, 8" Process: PIX Coat Software Version: MK807.38 System Power Rating: 208
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TEL / TOKYO ELECTRON
Mark 7
Systems, 8" (2) C / (4) AD / (2) HP / (3) CP / (1) WDS.
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