Gebraucht AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9329249 zu verkaufen

AXCELIS / FUSION RapidStrip 320
ID: 9329249
Wafergröße: 12"
Stripper / Asher system, 12".
AXCELIS/FUSION RapidStrip 320 ist eine Hochleistungs-Ätz-/Aschermaschine, die entwickelt wurde, um dünne Filme effektiv wegzureißen und hochpräzise Strukturen mit hohem Seitenverhältnis bis zu einer Untermikrongröße herzustellen. Es wurde entwickeltFür hochpräzise Prozesse bei der Herstellung von fortschrittlichen, nanoskaligen integrierten Schaltungen, optoelektronischen und Mikrowellen/HF-Geräten. Das FUSION RapidStrip 320 System verfügt über ein fortschrittliches, modulares Design, das Flexibilität ermöglicht und Änderungen an Kundenanforderungen und -prozessen gerecht wird. Das Gerät umfasst eine chemische Hochdruck-Fördermaschine und die Fähigkeit, verschiedene Chemikalien je nach Anwendung und Material zu behandeln. Das Werkzeug reinigt Substrate entweder mit Luft oder mit chemischen Hochdruckflüssen. Die Anlage ist hocheffizient und kann bis zu zwei Wafer pro Minute streifen, wobei nach dem Ätzen ein Minimum an überschüssigem Material verbleibt. Es verfügt auch über eine hochauflösende CCD-Kamera mit einem breiten Sichtfeld, das die genaue Überwachung von Prozessparametern ermöglicht. Auf diese Weise können Benutzer den Fortschritt jedes Ätzprozesses überwachen. Das Modell AXCELIS RapidStrip 320 ist zuverlässig und enthält mehrere Redundanzen, darunter eine Hochspannungsschaltung und mehrere ausfallsichere Vakuumkammern. Das integrierte Computer- und Steuergerät ermöglicht eine präzise Überwachung und Kontrolle der Prozessparameter. Es bietet auch integrierte Kalibrier- und Testaktivitäten für die automatisierte und zuverlässige Wartung kritischer Prozessparameter. Das System bietet Flexibilität für Prozessänderungen und die Konfiguration der Ätzprozessparameter, einschließlich Temperaturen, Ätzraten, Gasfluss und Leistungsstufen. Die Onboard-Software ermöglicht die vollständige Kontrolle der Prozessparameter. Mit RapidStrip 320 können Anwender Verarbeitungszeiten und Durchsatz einfach anpassen. AXCELIS/FUSION RapidStrip 320 Maschine ist einfach zu bedienen, zuverlässig und kostengünstig. Mit seinem fortschrittlichen Design, seiner Flexibilität und seinen hochpräzisen Ergebnissen ist es das ideale Werkzeug für die Verarbeitung von fortschrittlichen, nanoskaligen integrierten Schaltungen, optoelektronischen und Mikrowellen/HF-Geräten.
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