Gebraucht LAM RESEARCH 2300 Kiyo #9302266 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9302266
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2008
Poly etcher, 12"
(4) Chambers
(3) FOUP load ports
RPDP AC Power box
Does not include system pumps or chillers
(16) Gas lines
IGS Gas boxes:
Gas line / Gas type / MFC Size
Gas 1 / SiCl4 / 100
Gas 2 / BCI3 / 300
Gas 3 / Cl2 / 300
Gas 4 / HBr / 500
Gas 5 / CF4 / 400
Gas 6 / O2 / 500
Gas 7 / O2 / 200
Gas 8 / He / 500
Gas 9 / H2 / 200
Gas 10 / CH2F2 / 200
Gas 11 / Ar / 1000
Gas 12 / 30% O2He / 50
Gas 13 / NF3 / 1000
Gas 14 / N2 / 250
Gas 15 / CHF3 / 300
Gas 16 / SO2 / 200
2008 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Kiyo ist ein hochmodernes Plasmaätz-/Aschersystem für präzise und zuverlässige Waferbearbeitung. Es zeichnet sich durch ein innovatives, kompaktes Design aus, das die Gerätefläche optimiert und eine präzisere Bewegung und Steuerung ermöglicht. Seine fortschrittlichen Fähigkeiten werden durch außergewöhnliche Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit ergänzt, die durch ein überlegenes elektrostatisches Feld, präzise Abtastbewegungen und präzise Gasströme für präzises 360 ° Einzelwaferätzen geliefert werden. Der leistungsstarke und fortschrittliche Kiyo verfügt über einen patentierten Lichtbogenerkennungsmechaniker (ADM), der Prozessbenutzern präzise Kontrolle über Ätzprozesse gibt und eine ausgezeichnete Ätzgenauigkeit und Gleichmäßigkeit gewährleistet. Mit dieser anwendungsbasierten Steuerung können Anwender den aufgebrachten Gasfluss und Druck für präzise Ätzergebnisse einstellen, die die Anzahl der Werkzeuglaufzyklen minimieren. Darüber hinaus kann der Kiyo eine hohe Ätzleistung auf schwer ätzbaren Materialien wie Photoresists, Wolfram, Silizium, High-K-Dielektrika und anderen Materialien liefern. Dies wird durch die anwendungsspezifischen Wafer Handling Module (WHMs) ermöglicht, die eine präzise Bewegungs- und Bewegungssteuerung mit Hochgeschwindigkeits-Scanning ermöglichen. Der Kiyo ist auch mit mehreren Drosselklappen und Massenstromreglern ausgestattet, um eine präzise Gasregelung und eine gleichmäßige Gasverteilung über die Waferoberfläche zu ermöglichen. Dies bietet eine hervorragende Wiederholbarkeit, die in Anwendungen wie MEMS und Mikroverarbeitung unerlässlich ist. Der Kiyo enthält auch eine Besonderheit, die die Lieferung sauberer Ätzergebnisse gewährleistet - ein patentiertes Pumpensystem, das vor, während und nach dem Ätzen Luft und Nebenprodukte evakuiert. Neben seinen erweiterten Funktionen ist der Kiyo dank einer grafischen Benutzeroberfläche (GUI) für eine einfache Bedienung ausgelegt. Mit der GUI können Prozessingenieure einfach Ätzparameter einstellen, die Werkzeugleistung überwachen und Prozessrezepte für konsistente und wiederholbare Ergebnisse optimieren. Darüber hinaus ist der Kiyo in der Lage, Daten auf ein USB-Laufwerk zu übertragen und kann sogar zur weiteren Datenmanipulation und -steuerung an einen Host-PC anschließen. Insgesamt ist 2300 Kiyo eine ideale Ätzlösung, die Anwendern präzise und wiederholbare Ergebnisse liefert und gleichzeitig die Laufzeiten der Werkzeuge minimiert. Mit innovativer Bewegungssteuerung, präzisen Gasströmen und fortschrittlichen Funktionen wie dem Pumpensystem und anwendungsspezifischen WHMs bietet der Kiyo eine optimale Ätzleistung für jede Anwendung.
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