Gebraucht NOVELLUS Gamma 2100 #9228361 zu verkaufen

NOVELLUS Gamma 2100 ist ein Ätzer/Ascher, der von NOVELLUS Systems für IC-Verpackungsanwendungen entwickelt wurde. Es ist ein multiprozessorischer Einkammer-Ätzer/Ascher, der induktiv gekoppelte Plasma- (ICP) Ätz- und CVD-Prozesse (Chemical Vapor Deposition) verwendet. Gamma 2100 kann Kupfer (Cu) oder Aluminium (Al) Metallisierungsschichten und Komposit-Durchfüllschichten für Verpackungen mit hohem Seitenverhältnis ätzen. NOVELLUS Gamma 2100 ist in der Lage, Materialien wie Aluminium, Titan, Nickel, Gold, Silber, Legierungen und Cu-basierte Materialien für Dünnschichtmetallisierungsstrukturen zu ätzen. Es kann auch für eine Reihe von Prozessparametern programmiert werden, wie Substrattemperatur, HF-Frequenz, HF-Leistung und Ätzmittelflussrate, die die Ätzrate und Merkmalsprofilqualität optimieren. Darüber hinaus ermöglicht die Fähigkeit, mehrere Schichtstrukturen in einer einzigen Kammer zu ätzen, einen schnelleren Durchsatz. Gamma 2100 Ätzer/Ascher ist mit einer Prozesskammer ausgestattet, die zwei unabhängige Module umfasst. Das erste Modul verwendet den ICP-Prozess, um Materialschichten zu ätzen. Dieses Verfahren schafft eine Hochtemperatur-Plasmaquelle hoher Dichte, die Material mit Kaltplasma-Technologie mit einer niedrigen Temperatur-ICP-Quelle ätzt. Das zweite Modul dient zur Abscheidung von CVD-Schichten (Chemical Vapor Deposition) in der Silizium-basierten Chemie. Dieses Modul enthält auch einen eigenständigen Kaltscheibenhalter, um die Co-Planarisierung von CVD-Schichten zu erleichtern. NOVELLUS Gamma 2100 verfügt auch über eine Hot Zone, die auf spezifische Anwendungsprozesse zugeschnitten werden kann. Die heiße Zone kann verschiedene Substrattemperaturen beibehalten, um den Ätzprozess stabil zu halten und gleichzeitig sicherzustellen, dass der Wafer beim Ätzen flach bleibt. Die Temperatur der heißen Zone ist zwischen 200 ° C und 500 ° C einstellbar. Darüber hinaus nutzt der Ätzer/Ascher ein schnelles Lastschloß-System, das die Verarbeitungskammer vollständig von der Umwelt isoliert und korrosive und Gefahrstoffe zur sicheren Abfallentsorgung entfernt. Darüber hinaus kann Gamma 2100 bis zu fünf verschiedene Ätzchemikalien unterstützen, um verschiedene Dünnschichtstrukturen zu ätzen. NOVELLUS Gamma 2100 etcher/asher ist ein benutzerfreundliches System, mit dem Bediener schnell Programme und Komponenten wechseln können, um mit sich ändernden Produktanforderungen Schritt zu halten. Es ist ein zuverlässiges und hochgenaues Ätzwerkzeug, das eine hohe Produktivität bietet und die anspruchsvollsten Verpackungsanforderungen erfüllen kann.