Gebraucht CANON FPA 6000 ES6 #9217736 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9217736
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
KRF Scanner, 12"
Main (PO Module)
WS Module
RS Module
PSR
WS Chuck
Laser beam
GIGA Laser
CPSU Unit
N2 Purge
Control box
Cover panel
Wafer type: Notch
Altitude: 59 m
Wafer feeder: Right
No inline unit
No wafer temperature adjustment plate
TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Coater / Developer
Wafer chuck, 12" LCP
Orientation flat position: Standard
Carrier unit, 12"
Booth unit: SMIF
Reticle changer: SMIF
No laser delivery optics
Excimer laser: GIGAPHOTON G41K3-1
Laser power cable unit: 20 m
Front and rear console: Cover kit
Right and left console: Attachment kit
No connector cover unit
MO Driver: Left / Right
CPSU Cable: 15 m
C-Rack power cable: 15 m
C-Rack signal cable: 15 m
No reticle cassette
No signal tower
Absolute intensity meter
No additional library
Reticle bar code reader, 6"
No cassette bar code reader
No pellicle particle checker
High-precision N° turn pa parts
No 440 test reticle
Test reticle: 756
Additional built-in console
No F47 kit
No power cable unit
No exhaust unit
Exhaust duct unit: 5 m
Axi SiA input lens
Axi zoom SiB2 input lens
Maintenance tool
No mass flow chemical filter
PO Module: WS Mount unit
Scan OPTF5+
ULEX 06S
OAS3B
Wafer interferometer
Chuck maintenance unit
Reticle interferometer
EX-A Scope
FG Unit
Illuminator
Stage reference mark
2nd Stage reference: Mark left and right
Illumination uniformity checker
Chamber
Upper control rack
Lower control rack
ALS12
Type 10 wafer feeder: PA / SH / RH
Type 10 wafer feeder: SCH / INL
Ground underground common unit
Incoherent
Manuals included
Front / Side console:
Touch screen
USB Port
Keyboard
Mouse
RS Module:
Illumination system
ZYGO 7714 R / S Side laser head
RA Main body
PRA
Reticle scan stage
PCB
PO Module:
U-Lens
OAS (OA Scope)
Scan OPTF Unit
ZYGO 7714 W / S Side laser head
Chuck maintenance unit
WS Module:
Wafer chuck type: Pin
Wafer stage
Booth 1:
J-Box left / Right
EWS
Booth 2:
Auto feeder:
Inline relay: FOUP Unit
Inline unit: WTC
Open cassette
SCH Robot
Auto feeder-PSR:
PA Unit
RCV Station
SH Hand
RH Hand
Reticle changer:
R / C Type, 6"
Cassette type: SMIF
SMIF POD
RTH Robot
Reticle stocker
Reticle stage
Barcode reader
PPC
CE Marked
Power supply: 208 V, 60 Hz
2004 vintage.
CANON FPA 6000 ES6 ist ein hochpräziser Wafer-Stepper, der in der Photolithographie verwendet wird. Es ist ein reflektierender Scanner, der für fortschrittliche UV-Lithographieanwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. CANON FPA-6000 ES6 bietet eine Merkmalsgröße von 0,3 µm mit einer numerischen Apertur (NA) bis zu 0,65, wodurch es für High-End-Prozessknoten mit 28 nm und darunter geeignet ist. Der Stepper ist in der Lage, Wafer von bis zu 8 Zoll zu handhaben und kann Belichtungsbilder in einer Zeit von bis zu 2,7 Sekunden schreiben. Es ist mit einer eingebauten thermischen Quelle für Feldemissionen ausgestattet, die eine stabilere Temperaturregelung bei niedriger Leistung ermöglicht und somit die Betriebskosten senkt. Der Stepper verfügt über eine fortschrittliche automatische Ausrichtung, die ein hohes Maß an Overlay-Präzision und Genauigkeit ermöglicht. Das automatische Ausrichtsystem besteht aus einer zweistufigen Einheit mit einer Lichtquelle und einer Bildaufnahmevorrichtung. FPA 6000 ES6 kommt auch mit einem leistungsstarken Lithographie-Steuerungstool, das Hochleistungssteuerungsalgorithmen mit fortschrittlicher Optik kombiniert, so dass erweiterte Belichtungssteuerungsfunktionen möglich sind. Die Steuerung umfasst auch eine automatische Anpassungs- und Rückkopplungsfunktion, die eine Optimierung der bildgebenden Parameter zur Verbesserung der Lithographie-Stabilität und -Genauigkeit ermöglicht. Der Stepper kann sogar Belichtungsparameter an schlecht ausgerichteten Maskenfunktionen erkennen und automatisch anpassen, was die Kosten reduziert. FPA-6000 ES6 wird mit weiteren benutzerfreundlichen Funktionen geladen, darunter eine grafische Benutzeroberfläche und ein Touchscreen-Bedienfeld. Darüber hinaus verfügt der Stepper über eine langlebige optische Ausrichtfensterbeschichtung, ein sechsachsiges Bewegungssteuermodell, eine hochpräzise Optik sowie eine integrierte Maschinensteuerung zur nahtlosen Integration in eine Produktionslinie. CANON FPA 6000 ES6 ist einer der fortschrittlichsten und benutzerfreundlichsten Wafer Stepper zur Verfügung. Es ist eine ideale Lösung für Hochleistungs-Lithographie-Anwendungen, die Präzision und Genauigkeit erfordern.
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