Gebraucht CANON FPA 6000 ES6 #9217736 zu verkaufen

CANON FPA 6000 ES6 ist ein hochpräziser Wafer-Stepper, der in der Photolithographie verwendet wird. Es ist ein reflektierender Scanner, der für fortschrittliche UV-Lithographieanwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. CANON FPA-6000 ES6 bietet eine Merkmalsgröße von 0,3 µm mit einer numerischen Apertur (NA) bis zu 0,65, wodurch es für High-End-Prozessknoten mit 28 nm und darunter geeignet ist. Der Stepper ist in der Lage, Wafer von bis zu 8 Zoll zu handhaben und kann Belichtungsbilder in einer Zeit von bis zu 2,7 Sekunden schreiben. Es ist mit einer eingebauten thermischen Quelle für Feldemissionen ausgestattet, die eine stabilere Temperaturregelung bei niedriger Leistung ermöglicht und somit die Betriebskosten senkt. Der Stepper verfügt über eine fortschrittliche automatische Ausrichtung, die ein hohes Maß an Overlay-Präzision und Genauigkeit ermöglicht. Das automatische Ausrichtsystem besteht aus einer zweistufigen Einheit mit einer Lichtquelle und einer Bildaufnahmevorrichtung. FPA 6000 ES6 kommt auch mit einem leistungsstarken Lithographie-Steuerungstool, das Hochleistungssteuerungsalgorithmen mit fortschrittlicher Optik kombiniert, so dass erweiterte Belichtungssteuerungsfunktionen möglich sind. Die Steuerung umfasst auch eine automatische Anpassungs- und Rückkopplungsfunktion, die eine Optimierung der bildgebenden Parameter zur Verbesserung der Lithographie-Stabilität und -Genauigkeit ermöglicht. Der Stepper kann sogar Belichtungsparameter an schlecht ausgerichteten Maskenfunktionen erkennen und automatisch anpassen, was die Kosten reduziert. FPA-6000 ES6 wird mit weiteren benutzerfreundlichen Funktionen geladen, darunter eine grafische Benutzeroberfläche und ein Touchscreen-Bedienfeld. Darüber hinaus verfügt der Stepper über eine langlebige optische Ausrichtfensterbeschichtung, ein sechsachsiges Bewegungssteuermodell, eine hochpräzise Optik sowie eine integrierte Maschinensteuerung zur nahtlosen Integration in eine Produktionslinie. CANON FPA 6000 ES6 ist einer der fortschrittlichsten und benutzerfreundlichsten Wafer Stepper zur Verfügung. Es ist eine ideale Lösung für Hochleistungs-Lithographie-Anwendungen, die Präzision und Genauigkeit erfordern.