Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9299889 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik. Es ist in der Lage, zerstörungsfreie, schichtweise visuelle Inspektionen von Wafern durchzuführen, die einen Durchmesser von 6-12 Zoll messen. Dieses System ist mit einer umfassenden Suite von parametrischen, Overlay- und Defect Location Analysis (DLA) -Funktionen ausgestattet. Die Einheit kann mit Nanometergenauigkeit messen und eignet sich somit für die anspruchsvollsten Anwendungen in der Halbleiterherstellung. KLA 6200 Surfscan nutzt eine fortschrittliche Optik, um hochauflösende Bilder der gesamten Waferoberfläche zu sammeln. Eine automatisierte Laser-Höhenprofiliermaschine ermöglicht eine genaue dreidimensionale Oberflächenanalyse. Das Tool verfügt auch über eine automatisierte Fehlererkennung Asset mit Electron Beam Cross Sectioning (EBCS) Submikron Partikel und Defekte zu erkennen. Um eine ausreichende Wiederholgenauigkeit und Genauigkeit zu gewährleisten, ist TENCOR 6200 Surfscan mit einem automatisierten Kalibriermodell ausgestattet, das Standards und Referenzwafer verwendet. Es bietet auch branchenführende Megapunkt- und Linearitätstests für Messungen in hochauflösender Messtechnik. Diese Ausrüstung ist so konzipiert, dass sie eng mit In-Fab-Wafer-Management-Systemen integriert ist und die Kommunikation zwischen dem Surfscan und anderen Systemen in der Fab ermöglicht. 6200 Surfscan maximiert die Systemverfügbarkeit und Effizienz mit fortschrittlichen Tools, um die Zykluszeit insgesamt zu reduzieren. Es umfasst eine intuitive Benutzeroberfläche mit kontextsensitiven Menüs sowie umfassende Datenüberprüfungs- und Analysetools für schnelles Feedback zur Fehlererkennungsleistung. Das Gerät verfügt auch über automatisierte Rezeptentwicklung und fortschrittliche Rezeptmanagement-Tools. PROMETRIX 6200 Surfscan ist eine deutlich fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine. Es kombiniert fortschrittliche Optik mit automatisierten Sensor- und Kalibrierfunktionen, um Submikron-Auflösung und verbesserte Wiederholbarkeit und Genauigkeit für kritische Waferoberflächenanalysen zu bieten. Innovative Tools für Benutzeroberfläche und Datenverwaltung machen dieses Tool zu einer Top-Wahl für Hersteller, die eine schnelle und genaue Waferanalyse benötigen.