Gebraucht NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Q200i #9235491 zu verkaufen
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ID: 9235491
Weinlese: 2002
Overlay measurement system, 8"
EFEM
AC Rack
(3) Cartons
GENMARK Robot
Blade type: PE
Handler type: ARM
Per-aligner
Mini environment
(4) Wires + Ground
AC Distribution box
No transformer
No UPS
No heat exchanger / Chiller
No pump
Frequency: 50 / 60 Hz
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Full load amp: 20 A
Interrupting capacity: 14 kA
2002 vintage.
NANOMETRIE/BIO-RAD/ACCENT Q200i ist eine leistungsstarke Maske und Wafer Inspektion Ausrüstung Peripherie. Es wurde speziell entwickelt, um den Herstellungsprozess der fortschrittlichen Halbleiterproduktion zu verbessern und bietet überlegene Bildqualität und Ausrichtungsgenauigkeit für Präzisionsmaske und Wafer-Scanning. Das System umfasst eine hochzuverlässige, kristalline Probenstufe zur präzisen, wiederholbaren Positionierung und Ausrichtung von Masken- und Waferproben sowie einen integrierten bildtaktilen Fehlererkennungsmechanismus. ACCENT Q200i nutzt die Optik auf ACCENT-Ebene und die Abbildungstechnologie auf optischer Ebene, um Fehler auf den heutigen ultradünnen Halbleiterstrukturen abzubilden und zu erkennen. Sein effektives Blickfeld wird bis auf den gesamten Maskenbereich vergrößert und bietet detaillierte, vergrößerte Ansichten von Bereichen bis zu 1 μ m. Das Gerät erzeugt qualitativ hochwertige Fehlerbilder mit einer höheren Auflösung als mit herkömmlichen optischen Verfahren, wodurch es auch die geringsten Schutzschichtdefekte ermitteln kann. Die erweiterten Rechenfunktionen von BIO-RAD Q200i ermöglichen die Subnanosekunden-Bildgebung und ultrapräzise Bildanalyse. Die Maschine kann mehrere Bilder vergleichen, um das Ausrichten während des Scans zu erkennen und den Scan zu stoppen, bevor Schäden auftreten können. Diese Funktion trägt dazu bei, die maximale Qualität der Endprodukte sicherzustellen. Q200i bietet außergewöhnliche Klarheit, Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit in der Masken- und Waferbildgebung. Es kann mit bestehenden automatisierten Geräten für eine verbesserte Effizienz integriert werden, und seine fortschrittliche Optik und bildgebende Fähigkeiten bieten einen ausgezeichneten Vorteil für die Produktion von Wafern und Geräten höchster Qualität.
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