Gebraucht VEECO / EMCORE K465i #9043781 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9043781
MOCVD-GaN system, 6"
K465i GaN MOCVD Reactor
K465i Heater Assembly
Wafer Handling Assembly
Laminar Flow Hood
Ebara ESA-25D Pumps
User Interface Swing Arm
Rotary Transfer Assembly
Electronics Control Module
Circuit Breaker Panel 380 VAC
Supply Gas Sub-Assembly
GaN Standard 2xN2, 1xH2 regulator, 2 N2/H2 outputs
All bubblers as quoted
All Slices as quoted
Liquid Refigerator Baths
In-Situ Monitoring System
DRT 210 Real time In-Siture monitor systems
Integrated Electronics Assembly
Model Based Temperature Control
Flow Flange Lift Kit
SECS/GEM
Spare Wafer Carriers 5x6 Qty. 2
MV Particle Filter Maintenance Kit
Filament Maintenance Kit Gen IV Out
Filter Cart Assembly MV KF40
Pyro Kit
Systems utilize shared scrubber, scrubber not included
CE Mark
Tool is currently powered down and main lines are disconnected
2012 vintage.
VEECO/EMCORE K465i ist ein leistungsstarkes, molekulares Strahlepitaxiewerkzeug (MBE), das für die Forschung, Entwicklung und Herstellung von Verbundhalbleitern entwickelt wurde. Dieser Reaktor bietet eine breite Palette von Wachstumsfunktionen, darunter AlGaAs, InGaAs und InP, für Anwendungen wie Hochgeschwindigkeits-optoelektronische ICs, Datenkommunikationsgeräte, Sensoren und LED-Geräte. VEECO K465i ist das neueste Angebot von VEECO in ihrer Linie von MBE-Reaktoren, und es ist eine ausgezeichnete Wahl für diejenigen, die nach einem fortschrittlichen, hochpräzisen MBE-Werkzeug suchen. EMCORE K465i wird mit einer hohen Kapazität, Mehrzonenatmosphärenkontrollausrüstung ausgestattet, die Temperatur- und Gaszusammensetzung genau modifizieren kann, um einheitliche Umgebung entlang der kompletten Oblate zu bieten. Dieses System bietet eine optimale Umgebung für Substrate bei Sublimation und anschließendem Wachstum und hilft auch, die Bildung von Defekten zu minimieren. K465i verfügt auch über eine 4-Punkt-Probenstufe für präzise Substratbewegung. Darüber hinaus steht eine Auswahl an Quellsystemen zur Verfügung, einschließlich Knudsen-Zellen, E-Strahlen und Effusionszellen. VEECO/EMCORE K465i bietet einen Basisdruck von 5 mTorr, während Systeme mit Turbomolekularpumpen für noch niedrigere Drücke wie 1 mTorr und 0,1 mTorr ausgestattet werden können. Dieser niedrige Basisdruck hilft, die Wahrscheinlichkeit einer Kontamination während des Wachstums zu reduzieren. VEECO K465i enthält auch In-Vakuum-Proben- und Verschlusssteuerungen für eine verbesserte Prozesswiederholbarkeit. Das Gerät ist mit spezialisierter Software für eine einfache und intuitive Steuerung ausgestattet, und die Software bietet eine grafische Benutzeroberfläche für die Bedienung der MBE-Maschine. EMCORE K465i bietet ein fortschrittliches, hochmodulares Tool, das es ideal für Anwendungen macht, die eine genaue Kontrolle über Wachstumsfirmen erfordern. Dieser Reaktor kann auch mit einer ganzen Reihe von Zubehör für eine Vielzahl von Anwendungen ausgestattet werden. Dazu gehören Kryo-Duschsysteme für ultra-sauberes Wachstum, Abscheidungsüberwachungssysteme und Lastschlösser für eine stark wiederholbare Zustandswartung. K465i ist ein vielseitiges MBE-Werkzeug, das sich perfekt für Produktion und Forschung eignet.
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