Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9285089 zu verkaufen

KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für hochpräzise Messungen bei der Herstellung von Halbleiterchips entwickelt wurde. Das System besteht aus mehreren Teilen, die jeweils für eine bestimmte Funktion der Gesamteinheit ausgelegt sind. Zentraler Teil der Maschine ist das Teilsystem Infrastruktur. Dazu gehören das Datenerfassungstool, die Scanelektronik und die Vorausrichtungsstufen. Der Asset Data Acquisition ist für die Erfassung der Daten aus den Sensorsonden verantwortlich. Die Scanelektronik erzeugt die Scanmuster und steuert die Bewegung der Waferstufe, um den Wafer über die Oberfläche zu bewegen. Schließlich stellen Vorausrichtungsstufen sicher, dass die Sonden über den Merkmalen von Interesse auf dem Wafer platziert werden, bevor irgendwelche Messungen beginnen. Das Wafer Stage Subsystem ist dafür verantwortlich, den Wafer um die vorjustierten Sonden zu bewegen und die Daten zu erfassen. Es hat eine 3-Achsen-Aktuator-Konstruktion, die eine hohe Genauigkeit der Positionierung des Wafers ermöglicht. Die Aktuatorsysteme sind so ausgelegt, dass die Sonden in Bezug auf die interessanten Merkmale konsequent positioniert werden. Das Teilsystem Bildverarbeitung ist für die Analyse der von den Sonden gesammelten Daten verantwortlich. Es bietet Echtzeit-Datenverarbeitungsfunktionen sowie erweiterte Bildverarbeitungsalgorithmen, um Fehler und Merkmale von Interesse genau zu erkennen. Das Modell enthält auch mehrere Nachbearbeitungsfilter, um sicherzustellen, dass die Daten frei von Lärm und Artefakten sind. Das Subsystem Analyse und Reporting ermöglicht die Echtzeitverarbeitung der Bilder. Es enthält Algorithmen zur Erkennung von Topographiemustern, Rauheitsmessungen und anderen Parametern. Das Teilsystem Analyse und Berichterstattung kann auch eine statistische Analyse der Daten sowie Berichtsdokumente erstellen. KLA 6220 Surfscan ist eine revolutionäre Ausrüstung, die eine breite Palette von Wafer-Test- und Messtechnikfunktionen bietet. Durch die Bereitstellung einer umfassenden Lösung für die Prüfung und Messtechnik von Halbleiterscheiben erhöht das System die Genauigkeit und Effizienz des Herstellungsprozesses. Das Gerät ist außerdem darauf ausgelegt, die Betriebszeit und den Durchsatz der Wafer-Prüfprozesse zu maximieren.